当前位置:首页> 行业技术
行业技术

真空装置:组成防冷焊评定试验设备

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-06-16 3:20:24 * 浏览: 2
防冷焊评估测试设备的原理如图10-70所示。它主要由三部分组成:1,预排气单元:机械泵,F-450涡轮分子泵,低真空阀,液氮冷阱,活性氧化铝,集油器和超高真空阀组成。 2主抽气机组:包括两台升华泵,抽速分别为5000L / s和1800L / s,两台溅射离子泵的抽速分别为400L / s和200L / s。 3工作室:有效空间为552mm×700mm,由不锈钢制成。房间里有工作台和温度控制组件。真空室的侧面和前凸缘各自设有玻璃观察窗,顶部和另一侧各设有30芯电引线凸缘。还提供高压和高频引线法兰和四极质谱接口。