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真空计:场发射冷阴极弯曲规

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-08-28 0:19:42 * 浏览: 72
发射冷阴极弯曲仪由场发射冷阴极,离子发生器,离子偏转器和离子收集器组成。结构如图11-55所示。离子发生器的主要部分是Pt-clad-Mo合金网格。在冷阴极发射电子之后,它们在栅格空间中振荡并使气体分子电离。离子偏转器使用静电场将离子偏转256.4度,然后撞击收集器。上。集电极由通道倍增器组成,调节的主要部件由氢含量低的特殊不锈钢制成。冷阴极的使用消除了高温热阴极效应。将规定I置于1000℃的真空中,在10 -4 -4 Pa的真空中放置24小时,这大大降低了气体输出速率。 256.4度的离子导流板可以有效地分离气相离子和ESD离子磁冲击解离离子,大大降低了ESD离子噪声,同时也保护了收集器免受X射线的伤害,大大降低了X射线的影响。调节的X射线背景压力和ESD离子背景压力降低到10 ^ -13Pa的量级。通道倍增器用于增加离子检测的灵敏度。当测量1次,10 ^ -11Pa的压力时,仅需要0.01mA的发射电流。